無塵室產(chǎn)生的氮氧化物
保護(hù)環(huán)境與健康一向是高科技產(chǎn)業(yè)關(guān)心的課題。所有企業(yè)在面對有必要的情況下都會盡可能持續(xù)改進(jìn)其生產(chǎn)流程。舉例而言氮氧化物，在現(xiàn)代廢棄物處理技術(shù)的支持下，科技業(yè)最近已經(jīng)停止將有害物質(zhì)排放到大氣。戴思DAS Environmental Expert的環(huán)境專家正研發(fā)各種解決方案來致力降低工廠未來排放氣體所含的氮氧化物。一般用作為保護(hù)氣體的氮氧化物，在正常條件下具有極高的惰性，不過在溫度升高時則會形成熱力型氮氧化物(thermal NOx)。如圖1所示，這方面主要會影響負(fù)責(zé)處理蝕刻工藝產(chǎn)生的全氟化合物的焚化廠。反應(yīng)爐中分解全氟化合物所需的高溫，會因替代效應(yīng)促使生成氮氧化物。此外，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)需要用到氮來分離氮化物層氮氧化物，如化學(xué)氣相沉積工藝中通常會運(yùn)用一氧化氮來生成氮氧化層。三氟化氮(NF3) 不只用于微電子制造，還會用在薄膜屏幕與薄膜太陽能電池制作工藝中以清洗化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)室氯氣報警器，此外還有生產(chǎn)晶態(tài)硅太陽能電池中所用到的阿摩尼亞(NH3)。這些殘留的氮化合物若沒有進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，就會借由其他工藝氣體的熱量進(jìn)行分解氮氧化物油漆檢測儀，從而成為排放廢氣中氮氧化物的來源，而這也構(gòu)成了燃料氮氧化物(fuel NOx)生成機(jī)制的基礎(chǔ)。
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